Chapter 20 · Interactive Pipeline

20. 반도체 생산라인 스마트 팩토리 AI 실무 마스터

웨이퍼 8대 공정의 미세 센서 시계열 데이터를 실시간 수집해 결함을 사전 감지하고 수율을 극대화하는 파이프라인

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비전공자를 위한 '아하!' 한 줄 원리
웨이퍼 한 장에 수억 원인 반도체 공장에서, 챔버 온도가 0.1도만 튀어도 센서 이상을 즉시 감지해 불량품이 쏟아지는 참사를 사전에 방어합니다.
1단계: 센서 수집
🌡️ 초당 100회 미세 센서
에칭 및 증착 챔버의 다차원 시계열 데이터 수집
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2단계: 이상 탐지
🚨 FDC 결함 이상 감지
정상 패턴과의 통계적 거리(Mahalanobis)로 이상치 포착
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3단계: 수율 보전
🛡️ 수율 보전 & 자동 알람
불량 웨이퍼 라인 격리 및 공정 파라미터 자동 재보정
1단계 진행 중: 데이터 입력 대기
에칭 및 증착 챔버의 다차원 시계열 데이터 수집